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通过对 40 6 m m热场中氩气的流动方式及流速进行调整 ,得到了氧碳含量不同的硅单晶 ,并通过数值模拟计算将氩气流线图描绘出来 ,对实验结果进行了分析 ,得到了降低氧碳含量的最佳氩气流场分布
硅单晶生长中氩气流动对氧碳含量的影响
【摘 要】
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通过对 40 6 m m热场中氩气的流动方式及流速进行调整 ,得到了氧碳含量不同的硅单晶 ,并通过数值模拟计算将氩气流线图描绘出来 ,对实验结果进行了分析 ,得到了降低氧碳含量
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金( 6 9876 0 0 6 );河北省重大科技攻关 ( 0 0 2 135 0 2 D)资助项目~~
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