【摘 要】
:
根据国际半导体技术发展蓝图(international technology roadmap for semiconductor,ITRS),CMOS技术将于2009年进入32nm技术节点.然而,在CMOS逻辑器件从45nm向32nm节点按比例
【机 构】
:
中芯国际半导体制造公司,北京大学,
论文部分内容阅读
根据国际半导体技术发展蓝图(international technology roadmap for semiconductor,ITRS),CMOS技术将于2009年进入32nm技术节点.然而,在CMOS逻辑器件从45nm向32nm节点按比例缩小的过程中却遇到了很多难题.为了跨越尺寸缩小所带来的这些障碍,要求把最先进的工艺技术整合到产品制造过程中.文中总结并讨论了可能被引入到32nm节点的新的技术应用,涉及如下几个方面:浸入式光刻的延伸技术、迁移率增强衬底技术、金属栅/高介电常数栅介质( metal/high-k,MHK)栅结构、超浅结(ultra-shallowjunc-tion,USJ)以及其他应变增强工程的方法,包括应力邻近效应(stress proximity effect,SPT)、双重应力衬里技术(dual stress liner ,DSL)、应变记忆技术(stress memorization technique,SMT)、STI和PMD的高深宽比工艺(high aspect ratio process,HARP)、采用选择外延生长(selective epitaxial growth,SEG)的嵌入Si Ge(pFET)和SiC(nFET)源漏技术、中端( middle of line,MOL)和后端工艺(back-end ofline,BEOL)中的金属化以及超低k介质(ultra low-k,ULK)集成等问题.
其他文献
<正>《关于深化投融资体制改革的意见》对政府的权力边界、投资领域、融资机制创新、自我建设等提出了明确要求,提出了多项以进一步释放市场主体活力为主线的创新举措,这必将
目的:用保肝作用来评价八种不同甘草样品的质量。方法:采用整体动物实验方法复制肝损伤小鼠模型,以不同甘草样品的提取物灌胃给药,测定谷丙转氨酶(ALT)和谷草转氨酶(AST)活力
本文运用DEA-Ma lmquist方法,对京津冀2008~2017年金融全要素生产率进行测算,京津冀金融全要素生产率变动率呈现递减趋势,技术进步变化比技术效率变化更能影响到金融全要素生
当代对于青花元素的应用更多的是无新意与创造性的.我们对青花元素进行的再思考与设计,是一次在空间与形式创造、建筑形象与环境艺术设计上的尝试,是对多相位品质(观念、生活
<正> 王宝光主任医师系山东省首批名老中医专家带徒的导师之一,临床应用《证治准绳》十味温胆汤治疗内科杂病,每获良效,兹择验案3则如下。 1 失眼 谭某,男,17岁。1995年8月1
<正> 从本期开始,我就要给朋友们讲解发力的问题了,发力是武术的关键,不会发力,学什么都是没有用的。一直以来,武林人士都将发力作为千金之秘珍藏,不肯轻示于人,即使言及,也
癌细胞与正常细胞相比,呈现出提高的活性氧(reactive oxygen species,ROS)水平来维持其不断增值、侵袭和转移的恶性表型。因此癌细胞作为一种应激细胞,更加敏感于ROS的刺激。
何顿是一个创作热情极其旺盛的作家,也是一个敢于突破自己的勇士。他带着《生活无罪》、《我们像葵花》等作品闯入读者视野,一次次为文坛注入新鲜血液进而奠定其在当代文坛的
作为近代海军的代表人物,陈绍宽的海防思想即代表了当时海防思想发展的较高水平,具有很高的理论价值。构建强大的海军乃其海防思想的核心,其中关于海军的建设以及战略战术等方面
<正> 许多朋友给我来信,询问我当遇到摔法的情况时该如何应付?是否有摔法的绝招,比如粘衣十八跌什么的。因为众多朋友的来信中,对这一问题比较突出,所以,今特借《搏击》杂志