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介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作，研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量，束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤－辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和实验依据。
电子束预辐射筛选抗辐射晶体管工艺的初步研究
【摘 要】
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介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作，研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量，束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤
【机 构】
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四川联合大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1997年10期
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