杂质对生长SiGe/Si量子阱发光材料的影响

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chaizw
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发现Si源和Ge源中的深能级杂质是影响SiGe/Si量子阱带边激子发光的主要因素,研究了在低阻衬底上外延,在量子阱中重掺Sb或顶层中重掺B都将减弱甚至淬灭量子阱的带边激子发光。
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