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杂质对生长SiGe/Si量子阱发光材料的影响
杂质对生长SiGe/Si量子阱发光材料的影响
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chaizw
【摘 要】
:
发现Si源和Ge源中的深能级杂质是影响SiGe/Si量子阱带边激子发光的主要因素,研究了在低阻衬底上外延,在量子阱中重掺Sb或顶层中重掺B都将减弱甚至淬灭量子阱的带边激子发光。
【作 者】
:
杨宇
刘晓晗
【机 构】
:
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
硅源
杂质
量子阱
发光
锗源
Si-MBE
SiGe/Si MQW
impurities
photoluminescence
【基金项目】
:
自然科学基金
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发现Si源和Ge源中的深能级杂质是影响SiGe/Si量子阱带边激子发光的主要因素,研究了在低阻衬底上外延,在量子阱中重掺Sb或顶层中重掺B都将减弱甚至淬灭量子阱的带边激子发光。
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