切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析
MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析
来源 :探测与控制学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XULIANSHUAI
【摘 要】
:
探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺
【作 者】
:
吴志亮
黄新龙
朱继南
张合
【机 构】
:
南京理工大学机械工程学院,中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
:
探测与控制学报
【发表日期】
:
2008年5期
【关键词】
:
MEMS
引信
LIGA
工艺
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考。
其他文献
信息技术与小学教育教学融合创新实践
在“互联网+”时代,信息技术飞速发展,传统教育正面临着巨大挑战,教育理念和教育传播方式也发生着剧烈变革。使用现代信息技术进行教育教学可以给教育工作者带来新鲜感,同时
期刊
教学融合
优化大师
智慧课堂
创新实践
教育信息化
基于科学发展观的区域低碳创新系统架构分析与实现机制
区域创新系统面对科学发展观的基本要求,需要从节能减排、低碳经济发展的内在规律出发,构建区域低碳创新系统:区域低碳创新系统是一个巨大系统,主要由低碳知识生产系统、低碳技术
期刊
科学发展观
区域低碳创新系统
结构与功能
实现机制
从外向程度看口译学习者性格特质与交替传译表现的关系
人们普遍认为在影响口译表现方面,语言能力和一般认知能力仍然发挥主要作用。然而近年来在口译领域,人们也逐渐地认识到性格因素在其中扮演的重要角色。过去数十载,关于性格
学位
性格特质
外向
口译表现
从ITMA ASIA+CITME 2012看纺熔法设备发展的新特点
<正>2012年6月12-16日,ITMA ASIA+CITME2012在上海新国际博览中心举行。本次展会参展的纺熔法设备厂商主要有12家,其中国外4家、国内8家。国外企业有德国Nanoval公司、
期刊
纺粘法非织造布
纽马格
土工布
气流牵伸
非织造布设备
ITMA ASIA+CITME 2012
水刺非织造布生产线
熔喷法
非织造布生产
纺粘非织造布
纺丝模
可用于MEMS加工的金属粉末注射成型工艺
为了促进MEMS在引信中的推广应用,针对引信界对MEMS零件加工工艺了解不多的现状,综述了金属粉末注射成型工艺。该工艺具有适合于各种金属、陶瓷、复合材料成型,精度可满足引
期刊
引信
微机电系统(MEMS)
金属粉末注射成型(MIM)
工艺
嘉峪关市25岁及以上居民糖尿病现况调查及影响因素研究
研究背景糖尿病是一种慢性病,是由多种病因导致的机体代谢紊乱,当胰腺产生的胰岛素不足或人体无法有效利用胰岛素时,就会发生糖尿病,引起各个器官的慢性损伤和功能衰竭。目前
学位
糖尿病
流行病学
患病率
影响因素
预防与控制
“西医切片式教研”的妙处
近期参加了一次培训活动,对学情观察员这一制度的了解,让我深刻感受到“西医切片式教研”的魅力。下面是我就自己的学习成果绘制的思维导图(见下图)。$$学情观察员作为教师的助教
报纸
急性心肌梗死患者非梗死相关血管PCI的时机对预后的影响
目的研究急性心肌梗死(AMI)多支血管病变的冠心病患者非梗死相关血管(non-IRA)行计划内二次经皮冠状动脉介入治疗(PCI)的时机对左心功能和预后的影响。方法纳入2013年1月至20
期刊
ST段抬高型心肌梗死
非ST段抬高型心肌梗死
多支血管病变
非梗死相关血管
经皮冠状动脉介入治疗
主要不良心血管事件
园林景观中的水景设计策略分析
随着社会经济的高速发展,我国的园林景观建设也在不断发展,现代化园林景观设计的要求逐渐提高。水景作为园林景观的重要组成部分,水景设计和园林景观设计存在密切相关的联系,
期刊
园林景观
水景
设计
求职从“自我分析”开始
"我希望做自己喜欢的工作""我希望找到适合我的工作"——马上要开始求职活动的你们,肯定都是这么想的。一定有很多人已经开始通过网上或者其他方式,对收集到的企业简介等进行
期刊
求职者
与本文相关的学术论文