【摘 要】
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电子级多晶硅（10-12的纯度）生产线三氯氢硅精馏提纯所使用的冷凝器和再沸器,如果发生腐蚀、泄漏问题,所造成的危害非常大。发生泄漏后,三氯氢硅与冷却水（或蒸汽）发生放热化学反应
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电子级多晶硅（10-12的纯度）生产线三氯氢硅精馏提纯所使用的冷凝器和再沸器,如果发生腐蚀、泄漏问题,所造成的危害非常大。发生泄漏后,三氯氢硅与冷却水（或蒸汽）发生放热化学反应,反应产物盐酸会加速腐蚀其它区域和其它设备,反应产物硅粉会堵塞设备。更换设备和清洗被污染的工艺管线,都非常繁重耗时,影响到正常的生产。本文对泄漏的主要原因进行分析。结合生产实际,对不同位置不同工况的换热器材质和选型提出优化建议。
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