【摘 要】
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为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出了离子束去除函数;以去除函数的均方根值?为分析对象,分析了不同叠加间距下离子束等量去除的去除量以及波动量。根据理论及实验数据分
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为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出了离子束去除函数;以去除函数的均方根值?为分析对象,分析了不同叠加间距下离子束等量去除的去除量以及波动量。根据理论及实验数据分析验证了一维等量去除的可行性,得出最优叠加间距为?。再以?为叠加间距进行二维等量去除理论及实验分析,通过30 min对熔石英进行二维等量去除实验,得出去除量为384.7 nm。结合抛光实验,对均方根值(RMS)为139 nm的Φ100 mm口径的熔石英平面窗口玻璃进行面形修正,加工后RMS为18 nm,面形收敛率达到7.8。
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