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FANUC 数控系统已广泛应用在数控机床上，其螺距误差补偿功能有一定的典型性。螺距补偿原理是将机械参考点返回后的位置作为螺距补偿原点，CNC 系统以设定在螺距误差补偿参数中的螺距补偿量和CNC移动指令，综合控制伺服轴的移动量补偿丝杠的螺距误差，从而提高机床的定位精度。通过采用英国雷尼绍公司的XL-30激光干涉仪进行数据采集与数据分析，更加准确分析机床的定位精度。