单晶炉速度控制系统集成化

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我所自1974年研制出第一台用力矩机组驱动的单晶炉后,已陆续制造了十几台类似的单晶炉。用这种单晶炉生长出的激光、红外材料与老一代单晶炉所长晶体相比,质量有较大提高。但是用力矩电机驱功,其速度控制线路较伺服电机系统要复杂得多。早期的单晶炉,速度系统的辅助电源就有六个之多。不仅重量、体积很大,而且组装、调试费时;更主要的是连线长,故障率高。为了提高系统的可靠性,有必要简化和压缩该系统,进行了速度控制系统电路集成化的研制。图1为速度控制系统电路方框图。讯号Ui经K前置放大,A_1电压放大,A_2功率放大后 Since 1974, I have developed the first single-crystal furnace driven by a torque-generating unit, and have successively produced more than a dozen or so single-crystal furnaces. The laser and infrared materials grown by this single crystal furnace have a much higher mass compared with those of the old generation single crystal furnace. However, with torque motor drive, the speed control circuit is much more complex than the servo motor system. Early single-crystal furnace, speed system, there are as many as six auxiliary power. Not only the weight, size, and assembly, debugging time-consuming; more important is the connection length, high failure rate. In order to improve the reliability of the system, it is necessary to simplify and compress the system and develop the integrated circuit of speed control system. Figure 1 is a speed control system circuit block diagram. Signal Ui K preamplifier, A_1 voltage amplification, A_2 power amplifier
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