SiC高温压力传感器电容芯片设计与仿真

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 9次 | 上传用户：dzxt720

【摘要】

：

MEMS压力传感器的研制已相当成熟,但在高温领域却遇到了许多问题,为解决高温环境下压力测量的问题,文中介绍了一种新型Si C高温压力传感器电容芯片的设计方案。应用Ansys有限元分析软件进行热-结构耦合场仿真分析,常温下电容芯片的灵敏度为1.3 p F/bar(1 bar=100 k Pa),300℃、500℃、700℃时灵敏度分别为1.4 p F/bar、1.54 p F/bar、1.74 p

【作者】

：

李赛男梁庭喻兰芳李颖熊继军

【机构】

：

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国防科技重点实验室

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2015年03期

【关键词】

：

SIC 高温压力传感器电容芯片 Ansys有限元分析软件灵敏度频响 SiChigh temperature pressure sensorcapacita

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