高束流密度金属注入离子源

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:arksh
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文对直接从高温石墨室的稳定金属等离子体放电中,引出高束流密度的宽束离子源的设计特点和初步试验进行了介绍。金属蒸气是通过将电子流引入到具有阳极电势的坩埚内,使其中的纯金属蒸发而得到的。当金属蒸气的数量达到能自己维持的程度时,就停止送入用于起动放电的氩气。引出的钛或铜离子束在距离子源50cm处的靶上,束斑直径可达几厘米,束流密度可达几百μA/cm~2。该系统简单、安全、易于保养。
其他文献
在人们的交际中,说话人所传达的,听话人所获得的往往是语言的正值信息。如果语言表达的这种效果叫语言的正值信息,那么听话人获得负值信息,或者说语言在交际中产生的与其正值信息
在高一数学新教材中增加的“向量”,是中学数学的重要概念之一,它兼有数和形的特征,因而它是数形结合的桥梁之一,是实现数形转换的一个重要工具,许多数学问题用向量知识来解
本文介绍采用石英晶体测厚仪测得铬靶不同方位上的溅射沉积速率,试验结果表明不同方位上的沉积速率为正态分布,其表达式为 y=66exp-(X-74.18)~2/2×2×33.93~2 当溅
肾综合征出血热(HFRS)病毒可导致机体多器官组织损伤,凝血是其重要的病理生理变化,观察血小板变化可了解其轻重程度。1996~1997年,我们对38例发热期HFRS患者的生化指标及血小板进行
DNA双链断裂是电离辐射对DNA的重要损伤类型,与细胞死亡、基因突变甚至细胞恶性转化有密切联系。DNA发生双链断裂后最早反应之一是位于断裂点附近的组蛋白H2AX的C末端丝氨酸残
低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。
中国环境诱变剂学会风险评价专业委员会和药物安全评价学组定于2004年6~7月在甘肃省酒泉市或兰州市召开第七届全国学术交流会。会议征文内容如下 :1.致癌物、生殖毒物、致突变
期刊
浅谈学校内部实施素质教育的途径□兰州九中万祥林由“应试教育”向素质教育转轨,是各级各类学校的共同任务。然而,如何实施素质教育,促进学生全面发展,以什么为突破口,主要应抓哪
【正】 自2001年以来,我院采用笑气阶段性用于第一产程分娩镇痛,效果显著。 资料与方法:将本组200例产妇随机分为两组。研究组100例,对照组100例。入组标准:初产妇,足月妊振,
【摘要】目的:探讨人性化护理在产程中的运用效果。方法:选择2017年1-9月100例初产妇在本院进行顺产的分为两组。观察组利用人性化护理。对照组采用常规护理。观察两组产妇分娩方式、产程时间、产后2小时出血量、生殖道损伤情况、孕妇疼痛情况。结果:与对照组相比,观察组剖宫产率低,,出血量及产程时间也少于对照组,此外软产道损伤程度和机率也少于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05);而对照组的的剖宫产