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<正> 本发明是关于在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法,众所周知,碳化硅是非常硬而坚固的物质,其薄膜也非常致密,无论化学强度和物理强度都很高,故用来作保护膜.以前,碳化硅膜制作方法是使SiCl_4.与
在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法
【摘 要】
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<正> 本发明是关于在石英玻璃表面制成碳化硅膜的方法,众所周知,碳化硅是非常硬而坚固的物质,其薄膜也非常致密,无论化学强度和物理强度都很高,故用来作保护膜.以前,碳化硅膜
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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1989年6期
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