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在p-型Si片基底上通过甩膜焙烧形成不同厚度的锐钛矿型TiO2薄膜，发现不同厚度薄膜的表面光伏特性差别很大，随着多次扫描光伏响应变化也不同．在TiO2膜很薄的情况下，Si与TiO2分别表现各自的光伏特性，说明上层TiO2薄膜对界面态的影响小；随着TiO2膜厚度的增加．其对界面态的影响增强，表现为界面主导的光伏响应．进一步的实验表明，上层薄膜的电荷密度大时，对界面态的影响强，光电压谱上明显表现出界面的作用；而当上层薄膜的电荷密度足够小时，对界面态的影响弱，使得组成界面的物质表现各自的光伏特征．实验同时表明表