【摘 要】
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在圆柱模型下，采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区以及工件表面二次电子发射形成的虚拟阴极“屏蔽区”，最后被加负偏压的工件表面
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在圆柱模型下，采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区以及工件表面二次电子发射形成的虚拟阴极“屏蔽区”，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程．研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了光滑自洽的电势分布曲线及工件表面离子的能量分布和角分布，同时讨论了磁场、气压以及二次电子发射对鞘势的影响．
In the cylindrical model, the Monte Carlo method was used to simulate the “shielding zone” of virtual cathodes formed by ions emitted from the ECR microwave plasma source after leaving the discharge chamber through the neutral zone, the sheath zone and the workpiece surface. Finally, the workpiece is negatively biased surface absorption of the entire process. The cohesion problem at the sheath boundary was studied. The smooth self-consistent potential distribution curve and the energy distribution and angular distribution of ions on the workpiece surface were obtained. The effects of magnetic field, pressure and secondary electron emission on the sheath potential were also discussed.
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