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采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1％（质量分数）Al2O3，1％（质量分数）SiO2，1％（质量分数）石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌（ZnO：Al：Si：GNP，GASZO）透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析，研究了不同氩气流量（工作压强保持不变）对薄膜的结构、形貌及光电性能的影响。结果表明，所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构；当氩气流量为70sccm时，薄膜的电阻率最低为11．47×10^-4Ω