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利用等幅微小振动将静态迭栅条纹转换为动态条纹,再把按空间分布的迭栅条纹光强分布转换成光电信号,光电信号的时间相位对应迭栅条纹的空间相位。通过适当的电路处理,给出信号过零点与相应起始信号的方波。采用单片机测脉宽的方法,实现迭栅条纹信号的高倍率细分。实验结果表明,细分分辨率优于0.2μm,线性也较好。