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应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施加行波超声振动相对于不施加振动,能明显改善硅片化学机械抛光的表面质量。振子振幅的增大对改善硅片表面质量有利。
盘形超声压电振子的抛光实验研究
【摘 要】
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应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施
【机 构】
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辽宁工业大学振动工程研究所辽宁锦州121001
【出 处】
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辽宁工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2013年6期
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