磁控溅射法在立方织构镍基底上制备了CeO2缓冲层

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论述了具有立方织构的金属镍基底上,采用射频射的方法制备了CeO2缓冲层。以Ar/H2混合气体作为溅射气体,有效地抑制NiO的形成,获得纯c轴了向的CeO2薄膜。X射线ψ扫描、ω扫描和极图的测试分析表明,CeO2薄膜在平面内和垂直于膜面方向晶粒都是有序排列的。具有良好的立方织构。
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