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薄膜涂层通常是用来保护表面或增强表面功能的。为了提高涂层的经济效益，涂层的厚度有变小的趋势。随着厚度的变薄，涂层厚度的均匀性就变得越来越重要了，因此就需要对涂层进行测量。
用红外热成像系统测量薄膜厚度的方法
【摘 要】
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薄膜涂层通常是用来保护表面或增强表面功能的。为了提高涂层的经济效益，涂层的厚度有变小的趋势。随着厚度的变薄，涂层厚度的均匀性就变得越来越重要了，因此就需要对涂层进行测
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2006年10期
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