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采用ANSYS有限元软件模拟了磨粒磨损中类金刚石(DLC)膜与磨粒在旋转滑动中的接触过程,分析了DLC膜表层在整个接触过程中的应力应变和接触压力的变化规律,研究了滑动接触次数对DLC膜残余应变的影响.结果表明:DLC膜在滑动接触后其表层存在着明显的残余应力;DLC膜的变形主要为塑性变形,且随着滑动接触次数的增加逐渐增大;DLC膜的非线性和摩擦接触的非线性共同影响着滑动接触过程中薄膜中应力应变的变化.DM膜与磨粒滑动接触过程的研究将有助于研究DLC膜的表面磨损机制.