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<正> 介绍了合成洗涤剂在半导体清洗工艺中的作用、配方、使用方法以及硅PN结反向击穿电压试验的初步结果。一、前言随着石油化学工业的发展,合成洗涤剂的应用日益广泛,近年人们已经注意到它在半导体工业中的应用潜力。半导体工业的主要要求之一是超净,而
表面活性剂在半导体工业中的应用初探
【摘 要】
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<正> 介绍了合成洗涤剂在半导体清洗工艺中的作用、配方、使用方法以及硅PN结反向击穿电压试验的初步结果。一、前言随着石油化学工业的发展,合成洗涤剂的应用日益广泛,近年
【机 构】
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潍坊精细化工厂
【出 处】
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精细石油化工
【发表日期】
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1990年06期
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