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利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法 ,但受到CCD像元特征尺寸的限制 ,测量精度往往只能达到微米级 ,限制了该系统在非接触测量方面的更广泛应用。本文从算法角度提出了一种提高CCD精度的方法。实验证明 ,方法能将测量的精度提高一个数量级
采用CCD的非接触测量中提高精度的一种方法
【摘 要】
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利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法 ,但受到CCD像元特征尺寸的限制 ,测量精度往往只能达到微米级 ,限制了该系统在非接触测量方面的更广泛应用。本文从
【机 构】
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上海交通大学信息检测技术及仪器系,上海交通大学信息检测技术及仪器系,上海交通大学信息检测技术及仪器系,上海交通大学信息检测技术及仪器系 上海200030,上海200030,上海200030,上海200
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2002年03期
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