在多晶硅CF4／O2遥控等离子体CDE中加N2的作用

来源 :等离子体应用技术快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuzhi1979

【作者】

：

民生

【出处】

：

等离子体应用技术快报

【发表日期】

：

1998年5期

【关键词】

：

多晶硅等离子体四氟化碳化学干蚀刻氮氧

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

露蕊滇紫草化学成分研究

期刊

露蕊滇紫草紫草化学成分

救必应化学成分的研究（I）

期刊

救必应化学成分结构鉴定

中药钙拮抗剂研究新进展——^45Ca跨膜流动测量技术

期刊

中药钙拮抗剂钙45跨膜流动测量心血管药

高校教师亚健康中医证候特征与成因分析

目的研究高校教师亚健康的中医证候特征和成因,以提出干预措施。方法参照相关文献自行制定中医证候调查问卷,调查广州大学在职教师,运用聚类分析研究中医证候分布规律。结果

期刊

高校教师亚健康中医证候特征成因

六味地黄冲剂与味地黄丸药理作用比较

期刊

六味地黄冲剂六味地黄丸药理

稀土对人参光合作用及营养代谢的影响

期刊

稀土人参光合作用营养代谢

苦参总碱注液稳定性研究

期刊

苦参总碱稳定性PH值苦参碱

袁氏心复康对微循环和血液流变学的影响

期刊

袁氏心复康微循环血液流变学

五种马勃的鉴定

期刊

马勃鉴定

舒肝宁注射液治疗慢性乙肝黄疸40例

目的通过临床观察舒肝宁注射液治疗慢性乙型肝炎黄疸肝胆温热证的疗效。方法将80例慢性乙肝黄疸肝胆湿热证的患者随机分为2组，对照组采用门冬氨酸钾镁注射液20mL，静脉滴注．每日1

期刊

慢性乙型肝炎黄疸肝胆湿热证舒肝宁注射液

在多晶硅CF4／O2遥控等离子体CDE中加N2的作用

与本文相关的学术论文