【摘 要】
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<正> 1.前言蒸发耐高温的钼和钨的氧化物,在适当的金属还原剂的作用下,在高温基底表面还原,是在高真空中用耐高温金属获得薄膜的新方法。这种工艺是原来用于Ⅲ—Ⅴ族化合物半
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<正> 1.前言蒸发耐高温的钼和钨的氧化物,在适当的金属还原剂的作用下,在高温基底表面还原,是在高真空中用耐高温金属获得薄膜的新方法。这种工艺是原来用于Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体薄膜的制备而发明的三温法的改进。这个方法基于同时蒸发原始元素并使它们的处于被吸附状态的蒸发粒子在高温基底上凝聚、反应,生成所需的化合物(图1a 中的反应:
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