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含氮氟化非晶碳(a-C:F:N)薄膜电学性能的研究
含氮氟化非晶碳(a-C:F:N)薄膜电学性能的研究
来源 :株洲师范高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytvct
【摘 要】
:
用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备氮掺杂氟化非晶碳(a-C:F)薄膜,用电桥测试薄膜的介电常数.研究不同工艺参量对薄膜电学性能的影响.结果表明:掺杂氮、高射频功率、高沉
【作 者】
:
周昕
【机 构】
:
湖南工业大学师专校区物理与电子工程系
【出 处】
:
株洲师范高等专科学校学报
【发表日期】
:
2007年5期
【关键词】
:
氟化非晶碳薄膜
氮掺杂
介电常数
fluorinated amorphous carbon thin films nitrogen dopings dielec
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用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备氮掺杂氟化非晶碳(a-C:F)薄膜,用电桥测试薄膜的介电常数.研究不同工艺参量对薄膜电学性能的影响.结果表明:掺杂氮、高射频功率、高沉积温度以及热退火都导致薄膜介电常数上升.
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