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利用“闪光二号”相对论电子束加速器研制了百焦耳给XeCl和KrF准分子激光器,激光器激活体积241,输出口径20×20cm^2,泵浦功率密度1.5-3.0MW/cm^3。XeCl激光器最大能量136J,波长308nm,脉宽50-100ns,峰值功率1.5GW,采用虚共焦非稳腔技术,束散角达1.3mrad;KrF激光最大能量157J,波长248nm,脉宽80-100ns,峰值功率2GW。