硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究

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【摘要】

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利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构.结果表明:该Zr

【作者】

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王金清刘晓红许世红杨生荣

【机构】

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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州高等师范专科学校化学系

【出处】

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机械工程材料

【发表日期】

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2004年9期

【关键词】

：

自组装单层薄膜氧化锆薄膜摩擦学性能 self-assembled monolayer ZrO_2 thin film tribological behavi

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构.结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基底的牢固性好.摩擦磨损试验表明:ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

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