【摘 要】
：
在不同衬底温度(室温～750℃)条件下,采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英玻璃和单晶硅(111)衬底上制备了Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。结果显示:衬底温度的变化导致衬底表面吸附原子扩散
【机 构】
：
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
论文部分内容阅读
在不同衬底温度(室温～750℃)条件下,采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英玻璃和单晶硅(111)衬底上制备了Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。结果显示:衬底温度的变化导致衬底表面吸附原子扩散速率和脱附速率的不同,从而导致合成薄膜结晶质量的差异,衬底温度450℃时制备的GZO薄膜具有最好的结晶特性;GZO薄膜中载流子浓度随衬底温度升高而单调减小的现象与GZO薄膜中的本征缺陷密切相关,晶界散射强度的变化导致迁移率出现先增大后减小的趋势,衬底温度450℃时制备的GZO薄膜具有最小的电阻率～0.02Ω.cm;随着衬底温度的升高,薄膜载流子浓度的单调减小导致了薄膜光学带隙变窄,所有合成样品的平均可见光透过率均达到85%以上。采用PLD方法制备GZO薄膜,衬底温度的改变可以对薄膜的光电性能起到调制作用。
其他文献
汽车倒车雷达是针对当前公路、街道、停车场、车库等越来越拥挤，加上存在视觉盲区，无法看见车后的障碍物，司机在倒车时很容易刮伤汽车，甚至发生事故的情况而出现的一种旨在倒车防
本文主要对永磁铁氧体的磁性来源,分类及用途,制备工艺,发展动态等几个方面进行综述性的阐述。
习近平总书记提出:"坚持正面宣传为主,努力为社会提供正能量。"为宣传工作的发展指明了方向。本文围绕着这一重要论述的精神内涵,阐述了加强正面宣传的重要意义,剖析了加强正
三、主要措施1.梳理认证机构现有形成文件的信息,并提高审核员专业能力水平,确保所提供的认证审核服务能不断满足新版标准转换审核需要＂工欲善其事,必先利其器＂。认证机构应把
新石器时代的陶杯造型尹干（淄博师专，淄博２５５０００）在黄河流域的河南密县莪沟裴李岗文化遗址、甘肃秦安大地湾遗址，长江流域的浙江余姚河姆渡文化遗址、湖南石门皂市遗址以及江西万年仙人
该文综合评述了国内外毫秒、秒延期药技术的简史、现状和发展。根据国外的先进经验 ,结合我国的实际情况 ,提出一些延期药技术的具体研究和发展思路 ,以提高我国延期产品的质
随着我国水体富营养化问题的日趋严重,水华所带来的藻毒素污染已经成为了我国最主要的环境问题之一,严重威胁着水体生态安全和人类赖以生存的水源安全。因此,控制水体内藻毒
新石器时代的陶杯造型（续）尹干（淄博师专，淄博２５５０００）二、鼓腹形陶杯造型１．用曲线处理的鼓腹形陶杯造型这类陶杯造型与筒形陶杯相比，虽不够挺拨，但更为丰满。图十四这组陶杯的杯身为两根外凸
集群经济特别是企业集群已经成为当今世界经济的一个重要特点，这不仅表现在它对企业竞争优势塑造所起到的日益重要的作用，而且在根本上改l变了某一具体企业在产业内、产业间的
随着国内生活水平的提高，国人有车生活的普及率正随着汽车快速的进入一般百姓的家庭而逐年提高。汽车极大的带给人们物质生活上的享受，同样也使人们受到噪音的严重污染。汽车行