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在负极性电场电晕放电过程中，当SF6气体进入到传感器内，捕获电场中的慢速电子生成负离子。SF6气体负离子与载气正离子复合成中性化合物，被载气带出传感器外，而使原有的基流减少。该基流的减少量与被测气体的体积分数成一定的比例关系。将变化的基流转为体积分数指示信号输出，从而达到检测SF6气体体积分数的要求。在待测气体中SF6含量不大于1200×10^-6范围内，传感器分辨力以体积分数计不大于0．1×10^-6，灵敏度不低于1．0μA／10^-6。