多弧离子镀镀制掺氮二氧化钛薄膜及其光吸收特性的研究

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【摘要】

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利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2 薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220～500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度计等测试手段对热处理前后

【作者】

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马永新周友苏万春萍彭京龙

【机构】

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北京联合大学机电学院,北京,100020

【出处】

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真空

【发表日期】

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2006年5期

【关键词】

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多弧离子镀二氧化钛薄膜氮掺杂光吸收特性

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利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2 薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220～500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度计等测试手段对热处理前后的样品的结构、光吸收特性进行了分析.结果表明:制备出的薄膜为非晶态结构,热处理后向锐钛矿、金红石相转变.理想工艺下镀制的掺氮TiO2薄膜经400℃加热后,TiO2薄膜的光吸收限可由385 nm红移至500 nm.

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