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本文研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.
多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺
【摘 要】
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本文研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.
【机 构】
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清华大学,材料科学与工程系,北京,100084 清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518057
【出 处】
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第十三届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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2004年4期
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