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本文提出了用Mont Carlo模拟计算晶体中析出相X射线发射强度的理论和方法:严格计算晶体对析出相中电子散射的影响;用绝对法计算析出相的X射线深度分布函数;给出了析出相中X射线吸收及二次荧光计算公式。作为实例,对不同加速电压下Au、Cu基体中Cr-Fe-Ni合金析出相的X射线发射强度作了计算,并得出一些规律。本工作为析出相的电子探针定量显微分析(EPMA)研究奠定了基础。