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高纯磷烷研制的工艺过程分为两步，第一步为磷烷气体的生成，即用起始原料亚磷酸生产出约2N纯度的磷烷；第二步是采用低温真空分离、吸附干燥、精馏和镓．铟合金或催化剂深吸附脱水、氧。最后纯度为5N5。过滤除颗粒（常见金属）以及高纯气体灌装，生产出适合我国电子行业需要的5N5高纯气体。高纯磷烷分析内容包括：痕量氧＋氩、氮、总烃、一氧化碳、二氧化碳、水和砷烷杂质分析（浓缩或DID色谱）。杂质分析灵敏度分别为（0．1-0．2）×10^-6。