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不同应力条件下亚微米MOSFET‘s热载流子退变特性实验研究
不同应力条件下亚微米MOSFET‘s热载流子退变特性实验研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huaihuaitaizi
【摘 要】
:
本文对N沟道亚微米器件在不同应力条件下的热载流子退变特性进行了实验研究。实验结果表明:热空穴注入对器件的热载流子退变特性有重要影响。文章对不同应力条件下器件中的热空
【作 者】
:
程玉华
李瑞伟
【机 构】
:
TsinghuaUniv
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1993年12期
【关键词】
:
场效应晶体管
载流子
退变
实验
Charge carriersDegradationSemiconductor materialsStresses
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本文对N沟道亚微米器件在不同应力条件下的热载流子退变特性进行了实验研究。实验结果表明:热空穴注入对器件的热载流子退变特性有重要影响。文章对不同应力条件下器件中的热空注入与热电子注入的相互作用进行了分析。
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