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集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用研究
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用研究
来源 :中国战略新兴产业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aman25826882
【摘 要】
:
本文对集成电路技术发展状况进行了分析,同时对超净高纯试剂在集成电路制作中应用情况进行了探究,以供参考.
【作 者】
:
傅华
【机 构】
:
苏州晶瑞化学股份有限公司,江苏 苏州,215124
【出 处】
:
中国战略新兴产业
【发表日期】
:
2019年12期
【关键词】
:
集成电路
制作技术
超高纯试剂
应用
发展
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本文对集成电路技术发展状况进行了分析,同时对超净高纯试剂在集成电路制作中应用情况进行了探究,以供参考.
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