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研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响，考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用。借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比，研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响。
化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响
【摘 要】
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研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响，考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用。借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2007年1期
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