α—AlPO_4晶体缺陷对压电性能的影响

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本文研究了α—AlPO_4晶体中缺陷对压电振子电性能的影响。结果表明,晶片中存在包裸体,特别是气液包裸体和电双晶,则压电振子的动态电阻R_1变大,机械品质因子Q_m降低。而这些缺陷对振子频率常数没有影响。 In this paper, the effects of defects in α-AlPO 4 crystals on the electrical properties of piezoelectric vibrators are investigated. The results show that there are nuggets in the wafer, especially the nuclides and electric double crystals in the gas-liquid package. The dynamic resistance R_1 of the piezoelectric vibrator becomes larger and the mechanical quality factor Q_m decreases. These defects have no effect on the oscillator frequency constant.
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