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对超精密空气静压主轴回转误差测试过程中偏心的影响和作用原理进行了深入分析，指出了消除偏心时的一些误区，并提出了合适的偏心消除方法，设计了偏心调整装置，可使偏心调整到1μm以下；采用两点法对圆度误差和回转误差进行分离，并用该方法直接测量圆度仪主轴的回转误差。得到了很好的效果，验证了测量原理。
超精密空气静压主轴径向回转误差的测试研究
【摘 要】
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对超精密空气静压主轴回转误差测试过程中偏心的影响和作用原理进行了深入分析，指出了消除偏心时的一些误区，并提出了合适的偏心消除方法，设计了偏心调整装置，可使偏心调整到1μm
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2008年10期
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