【摘 要】
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电子科技作为新世纪的主要高科技技术之一，在集成电路的发展中起到了不可替代的重要作用。并且随着微电子技术水平的不断提升，微电子制造技术也得到了快速的发展。目前，微电子制
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电子科技作为新世纪的主要高科技技术之一，在集成电路的发展中起到了不可替代的重要作用。并且随着微电子技术水平的不断提升，微电子制造技术也得到了快速的发展。目前，微电子制造技术已经从第一代发展到第三代，相信在未来的集成电路领域，微电子制造技术还将会有更大的发展空间。现本文就主要针对微电子制造技术的发展历程、关键作用、发展概况以及其未来发展的趋势进行简单探讨。
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