【摘 要】
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摘要为了提高精密微动平台的定位精度，提出了一种计算微动平台输入耦合位移系数的实验方法。构建显微视觉测量系统，以柔顺铰链式平面三自由度微动平台为研究对象，实时跟踪测量微
【机 构】
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华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室
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摘要为了提高精密微动平台的定位精度，提出了一种计算微动平台输入耦合位移系数的实验方法。构建显微视觉测量系统，以柔顺铰链式平面三自由度微动平台为研究对象，实时跟踪测量微动平台输入位移；对平台与图像之间的坐标系进行标定，有效提高了平台的输入位移和耦合位移的测量精度。实验表明，基于显微视觉的测量结果与Ansys模拟仿真结果相符，对微动平台的分析与设计具有一定的参考意义。
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