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文中以详尽的数据和事实分析了近几年世界半导体硅材料工业的发展及未来趋势。指出：欧、美、日各国的硅材料工业近几年产量增加、效益看好，仍然是各国的投资热点；大直径化的发展速度非常快，估计１９９８年φ２００ｍｍ硅片的产量将达到３８０万片／月，而且φ３００ｍｍ和φ４００ｍｍ硅片的研制已经在国际大协调的局而下启动；与此相适应，为了满足亚微米晶件的需求，硅片的质量水平也在不断提高；从世界各地区的发展趋势看，存