多束动态混合注入技术制备TiN厚膜的工艺,结构及性能研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangpin
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在多束动态混合(MBMI)-注入系统上利用MBMI技术制备TiN膜,XRD分析表明,N^+入射角度α(°)、氮钛原子到达比Rn/Ti、N2分压PN2对膜生长怕择优取向及相结构有影响:性能研究结果表明,高的入射离子能量Ei、基体温度Ts以及合适的RN/Ti对TiN膜的显微硬度HK和膜-基结合力都有正面影响。
其他文献
研制了一种可同时测定6个点辐射剂量的智能伦仪器。该仪器采用微型半导体探头作为辐射探测器,具有信号采集、数据处理及显示、储存、打印等功能,测量精确度为±0.071%(SD),稳定
目的比较经皮椎间孔镜与椎板开窗髓核摘除术治疗腰椎间盘突出症的临床疗效。方法选取72例2014年3月-2019年3月医院收治的腰椎间盘突出症患者的资料,按照手术方法的不同分为观
目的探讨疑似新型冠状病毒肺炎的磨玻璃样病灶CT表现,提高新型冠状病毒肺炎的诊断水平。方法对我院69例经多次核酸检测阴性,但CT检查发现肺部疑似新型冠状病毒肺炎磨玻璃样病
目的观察血必净对老年重症肺炎患者血清可溶性髓系细胞触发受体-1(sTREM-1)水平及CPIS评分的影响。方法将31例老年重症肺炎患者随机分为实验组和对照组。对照组予积极查找病
概述了电离辐射诱导体外DNA单链断裂(SSB)和双链断裂(DSB)的形成机理。研究结果表明,DNA链断裂产额与DNA浓度和自由基清除剂的清除有力有关。并受DNA超螺旋度的影响。DNAαDSBB除
采用劈裂-衰减技术,将闪烁计数器的输出信号分为增益不同的分支,并对它们分别 进行直接和间接的线性标定,扩大了探测器的动态范围,以适应在粒子密度变化在的条件下进行有效探测的
目的观察吸烟暴露对治疗儿童原发性单症状夜间遗尿症的影响。方法纳入我院自2017年8月-2019年10月儿科门诊确诊为中重度单症状性夜间遗尿症的患儿,记录患儿及其家属相关方面
目的比较3D Slicer辅助锥颅穿刺术和开颅血肿清除术对高血压脑出血治疗的效果。方法选取2015年1月-2019年10月我院收治的60例脑出血患者,随机分成观察组(30例,3D Slicer辅助
提出作为聚变能技术早期应用途径的聚变中子源驱动的清洁核能系统概念,并从国家的能源需求、国内外核电发展状况论述开发这种系统的必要性和意义,根据国内外聚变驱动器技术及次
SFC轴向注入线采用了一个双间隙漂移管式聚束器和一个单间隙栅网型聚束器,分别采用三角波和锯齿波的聚束波形。采用充放电式的高频电压发生器可以得到要求的聚束电压。