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超临界反溶剂过程是近年来提出的一种制备纳微米粉体材料的新方法.文中利用超临界反溶剂过程制备乙基纤维素超细微粒.实验以乙醇为有机溶剂,超临界CO2为反溶剂,研究了操作压力、温度、溶液浓度、反溶剂流量等操作参数对制备的超细微粒的形态、粒径及其分布的影响.研究表明,采用乙醇作为有机溶剂可得到较理想的结果,能制备出平均直径在20 nm~40 nm范围内的乙基纤维素超细微粒.通过傅立叶红外光谱分析了乙基纤维素超细微粒结构,从特征基判断其结构未发生变化.