论文部分内容阅读
本文综述了化学气相沉积(CVD)的发展和等离子体化学气相沉积(PCVD)的兴起。阐明了等离子体对化学气相沉积的增强作用及从70年代后期以来等离子体化学气相沉积法的进展和贡献,展望了用此法沉积生长薄膜材料的前景。
等离子体化学气相沉积法生长薄膜材料的进展
【摘 要】
：
本文综述了化学气相沉积(CVD)的发展和等离子体化学气相沉积(PCVD)的兴起。阐明了等离子体对化学气相沉积的增强作用及从70年代后期以来等离子体化学气相沉积法的进展和贡献,
【机 构】
：
中国科学技术大学研究生院,中国科学技术大学研究生院,中国科学技术大学研究生院,
【出 处】
：
仪表材料
【发表日期】
：
1987年06期
其他文献
微博,作为自2009年以来最火的网络平台,以超越大众可以想象的速度,迅速成长为一个拥有庞大用户量并且用户可以自如地分享、传播和获取信息的大"社区"。基于微博平台便捷、草
<正>完整的内部控制体系和完善的内部控制制度,是约束、规范企业经营管理行为的准则,是减少风险的重大措施。实施内部控制可以及时发现和纠正各种错弊及不法行为,堵塞管理漏
随着数字技术的不断发展,视频编码已成为当今多媒体技术研究领域的热点。介绍以TI的多媒体处理器DM3730为核心,基于Android系统开发的视频编码软件。本软件在底层使用TI的Cod
<正> 电气技术在工业仪表中日益广泛地得到应用。凡是有电的仪表都有接线端子。接线端子在仪表制造中占的比重虽不大,但由于任何一个使用者首先接触到的就是接线问题,特别当
<正>随着企业大规模重组及深入融合,充分发挥大集团规模采购优势,搭建统一供应采购平台势在必行。由于物资采购部门业务量的增加,在物资采购过程中各种意外情况的出现,使采购
文中旨在通过完成河南省矿产资源利用现状调查成果数据库与储量登记统计库“两库衔接”中间库这个项目,将该项目的难点和重点进行了归纳和总结,主要有以下六点内容：（1）选择核查
文章以上市公司绿色投资为切入点,选择媒体关注与政治关联为分析对象,讨论了媒体关注和政治关联在企业微观层次中能否发挥公司治理的作用,尤其是能否提高上市公司管理层的环
检索近10年来中国知网(CNKI)刺血疗法治疗原发性头痛的临床文献,分别从单纯刺血、刺血配合针刺、刺血配合中药、刺血配合其他方法方面综述刺血疗法治疗原发性头痛的研究现状