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微动机器人具有无摩擦无间隙、响应快、结构紧凑、刚性好、误差积累小等特点，以柔性铰链代替传统铰链后并联机构就正好具备以上特点适合用作微动机器人。柔性铰链是目前被广泛用于微动机器人的主要部件之一，其刚度性能直接影响微动机器人的终端定位。由于实际需要的多样性和复杂性，使得其实际结构的何尺寸不能完全满足传统理论分析的假设条件，因此影响到对其性能的准确分析。采用有限元软件ANSYS分析了多个不同尺寸参数的圆弧形柔性铰，并与其解析计算结果进行了比较，分析了二者间产生误差的根本原因。