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三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业（北京有色冶金设计研究总院）１前言多晶硅生产技术不断发展，各生产厂家围绕提高产品质量，降低产品成本，正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能源的消耗，是影响多晶硅成本的主要因素，原辅材料和还原直接电耗在多晶硅生产成本中...
三氯氢硅合成尾气的综合回收
【摘 要】
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三氯氢硅合成尾气的综合回收朱骏业（北京有色冶金设计研究总院）１前言多晶硅生产技术不断发展，各生产厂家围绕提高产品质量，降低产品成本，正在展开激烈紧张的竞争。原辅材料和动力能
【机 构】
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北京有色冶金设计研究总院
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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1995年06期
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