论文部分内容阅读
硬质薄膜的可靠性研究对其应用有重要的意义。本文采用压痕法研究了射频反应磁控溅射制备的氧化铬薄膜的开裂行为，结果表明当载荷较低时，厚的薄膜抗开裂性能比较好，但是当载荷超过一定值以后，厚的薄膜更容易开裂。镀前如果基体等离子清洗功率过大沉积的薄膜反而容易开裂。采用同样工艺在不同基体上沉积的薄膜，由于膜与基体的结合力不同，膜中的内应力不同。其抗开裂性能会有很大不同。