【摘 要】
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研究钼添加对CrN涂层微观结构和抗氧化性能的影响,采用反应磁控溅射法在硅片和高速钢片上制备不同Mo含量的Cr-Mo-N涂层,并在500~800℃的高温空气中退火1 h,用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱和扫描电子显微镜(SEM)对涂层退火前后的微观形貌进行表征。沉积的CrN和Cr-Mo-N涂层均表现出基于CrN晶格的B1面心立方相(fcc)。Mo离子取代CrN晶格中的Cr离子,形成CrMo-N固溶体。在600℃时,XRD和拉曼光谱表明,Mo含量较高的Cr-Mo-N涂层中形成MoO3相,表面较粗糙,含氧量较高
【基金项目】
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Natural Science Foundation Guidance Plan Project of Liaoning(2019-ZD-0254)。
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研究钼添加对CrN涂层微观结构和抗氧化性能的影响,采用反应磁控溅射法在硅片和高速钢片上制备不同Mo含量的Cr-Mo-N涂层,并在500~800℃的高温空气中退火1 h,用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱和扫描电子显微镜(SEM)对涂层退火前后的微观形貌进行表征。沉积的CrN和Cr-Mo-N涂层均表现出基于CrN晶格的B1面心立方相(fcc)。Mo离子取代CrN晶格中的Cr离子,形成CrMo-N固溶体。在600℃时,XRD和拉曼光谱表明,Mo含量较高的Cr-Mo-N涂层中形成MoO3相,表面较粗糙,含氧量较高
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