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,Growth mechanism of atomic-layer-deposited TiAlC metal gate based on TiCl4 and TMA precursors
【机 构】
：
Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology, Institute of Microelectronics, C
【出 处】
：
中国物理B（英文版）
【发表日期】
：
2016年3期
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