【摘 要】
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利用羰基金属气相沉积方法,在Al2O3陶瓷基片上,以Mo(CO)6+W(CO)6为源,制备了MoW纳米合金晶膜.采用XRD和SEM技术,并与相同条件制备的Mo膜比较,研究了MoW合金晶膜的微结构.结果
【机 构】
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西南师范大学化学化工学院,西南师范大学化学化工学院,西南师范大学化学化工学院 重庆400715 ,重庆400715 ,重庆400715
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利用羰基金属气相沉积方法,在Al2O3陶瓷基片上,以Mo(CO)6+W(CO)6为源,制备了MoW纳米合金晶膜.采用XRD和SEM技术,并与相同条件制备的Mo膜比较,研究了MoW合金晶膜的微结构.结果表明:该法制备的薄膜是以纳米粒子状态存在、具有超微结构的多晶膜材料.
The MoW nanocrystalline crystal films were prepared on the Al2O3 ceramic substrate by using the metal carbonyl vapor deposition method with Mo (CO) 6 + W (CO) 6 as the source. The XRD and SEM techniques were used to fabricate the Mo films The results show that the film prepared by this method is a polycrystalline film with ultra-fine structure in the state of nano-particles.
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